现阶段艰难的运输方式,会给我们光刻机发展造成阻碍,因此,我国正在思考,如何才能突破小门小户的制造方式,将光刻机“白菜化”。比如说通过建立光刻厂和光刻车间,将光刻机整条供应链串联起来。
这样做的好处有很多,一来,我国可以摆脱过去单台复杂高端昂贵光刻机的生产模式,转变为流水线生产,最后达到大规模光刻生产的效果。二来,实现流水线后,我们也可以根据不同的精度要求,分别大量生产各种精度光刻机,将其高昂的价格彻底打下来。
此番大动作,无疑打了西方巨头一个措手不及,荷兰政府第一时间颁布新规,即各国再想获得2000i以及其他浸润式光刻机系统,就必须先拿到许可证。话音刚落,荷兰立即向中国颁发许可证,允许阿斯麦继续向中国出售光刻设备。
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