荷兰光刻机阿斯麦公司,可以说是这一行业中的“巨头”,其生产的EUV光刻机,光镜头就有1吨多重。
只不过,由于其只负责生产光刻机15%的零件,所以其他国家要想引进,就只能在此基础上,采购剩余零部件。
据悉,平均一台光刻机,大大小小零部件数量就达到10万多个,总重量180吨左右,其中,2公里长度以上的软管,就需要用到40个集装箱来运输,而且,安装调试工作需要耗费1年之久。
所以说,1台阿斯麦光刻机,我们要想运回全部的所需零部件和辅助设备,至少需要出动3架波音747飞机与其他车辆、船只,运输难度之高显而易见。
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