前言:EUV光刻机被视为“现代工业皇冠上最璀璨的明珠”,这不仅是因为它技术高超,还因为运输难度高,愈发显得珍贵。资料显示,一台这样的高端光刻机,售价将达到上亿美元。如今,中国格局打开,决定将其白菜化,顿时让西方巨头措手不及。那么,光刻机为何运输难度如此高、中国又将如何达成目的,而达成目的后,这对于我们而言意味着什么?
1、一台光刻机,3架波音飞机运
光刻机是制造高端芯片必须经历的一道工序,其原理,我们可以简单理解为一种颠倒的显微镜,即可以将较大线路图投射到微型硅片上。因为硅片上附着了含有光致敏剂的光刻胶,因而通过光照、烘烤、显影等方式处理,掩膜版上的大图形就能直接复制到硅片表片。
其中的难度和精度是远超想象的,有人描述说,这一过程更像是两架飞机并排飞,一个人手拿刻刀,将其中一架飞机的图像刻在另一架飞机表面上,而刻画的范围,仅有一厘米大小。这就意味着,每一处的精确度都应当达到0.01纳米以下。
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