历史总是惊人相似:当年苏联封锁催生中国“两弹一星”,巴黎统筹委员会倒逼出“银河”巨型机。如今,美国对EUV光刻机的禁运,直接推动中国开辟“绕道超车”新赛道。2025年3月,新凯来公司在SEMICON China展会上亮剑六大核心设备——外延沉积“峨眉山”、原子层沉积“阿里山”、物理气相沉积“普陀山”等,其中“阿里山”ALD设备突破5nm制程壁垒,采用全新光源技术路线,直接绕开阿斯麦的专利城墙。这记重拳,让ASML股价单周暴跌12%,西方分析师惊呼“中国掀桌子了”!
三、中国攻势:从“突围战”到“歼灭战”的质变
中国半导体的反击绝非偶然,而是一场蓄力二十年的“技术长征”。当ASML在2007年用浸没式光刻机终结尼康霸权时,中国工程师正在实验室打磨90nm光刻机原型;当ASML在2010年交付首台EUV设备时,中微公司的刻蚀机刚进入台积电验证。但正是这种“蚂蚁啃骨头”的坚持,在2025年迎来质变:
技术路线革命:新凯来的“超紫外激光等离子体光源”,突破传统EUV的波长限制,在功率和稳定性上实现代际跨越。
产业链重构:华为“星光工程”团队+深圳国资的资本赋能,形成“研发-制造-应用”闭环生态,设备国产化率突破70%。
市场倒逼创新:中国晶圆厂2024年扩产26座,成熟制程设备需求激增300%,为国产设备提供试炼场。
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