今日战报,聚焦一场没有硝烟却关乎国运的科技“突围战”——东大光刻军团,正以雷霆之势撕碎封锁线,剑指芯片制造的王冠明珠!笔者将带您直击前线,解析这场由哈工大扛旗、多路精锐协同的“换道超车”大捷。

一、敌情通报:ASML的铁幕与嘲讽
曾几何时,光刻巨头ASML睥睨天下,其高管放言:“即便图纸公开,尔等亦难造出!” 更以技术铁幕,妄图将东大锁死在芯片产业链的底层。欧美联手构筑“封锁联合”,尤以光源、双工件台、物镜系统为“绞索”,欲扼杀东大半导体之咽喉。此等轻蔑,无异于对东大科技尊严的炮火覆盖!
二、正面强攻:哈工大光源“亮剑”,13.5纳米轰开EUV大门!
当世人以为东大只能“循规蹈矩”时,哈工大祭出“奇招”——DPP(放电等离子体)光源路线!此技独辟蹊径,避开ASML主导的LPP(激光等离子体)技术壁垒。笔者获悉,哈工大团队以“航天血统”跨界赋能,将尖端放电等离子体技术淬炼至极致,成功点亮13.5纳米极紫外(EUV)光! 此光,正是叩开EUV光刻圣殿的“密钥”!
技术硬核: 哈工大采用粒子加速辐射获取极紫外光,与ASML透镜技术殊途同归,却显更高精准度。其研发的“高速超精密激光干涉仪”更为光源国产化贴上最后一块拼图,测量精度可回溯源头,奠定量产基石!
战略意义: 光源乃EUV光刻机最核心、最难攻克的“要塞”。此役告捷,标志着东大首次在EUV核心子系统实现自主可控!ASML的沉默,已是最直白的震惊!
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