据报道荷兰对华出口猛增到了148%,这让美国感到了恐慌。
于是,美国再度对华严厉施压,于是在荷兰在出口管制1月全面生效前,不得不配合美国,
突然对两个先进型号的光刻机实施阻断式销售,并因此取消了部分设备对华发货订单。
据知情人士透露,美国总统国家安全事务助理沙利文去年年底曾就此事致电荷兰政府,
荷兰官员则要求美国直接联系ASML商讨相关事宜;
就在美国提出这一要求后,ASML取消了剩余数量的已订货光刻机的发货。
据悉,荷兰响应美国政府对华拒售的是两个型号的光刻机,分别是NXT:2050i与NXT:2100i。
显然,目前波长193nm的1980i仍然不在限制令范围内。
另外,ASML的声明中,也没有提到2000i,所以限制令的对象目前很有可能就是前两款。
一枚小小的芯片就含有几十亿个晶体管
从参数来看,一个是NXT:2050i属于DUV浸没式光刻机,波长193nm,分辨率≤38nm,NA(孔径)1.35,效率295片/每小时。
另一个是NXT:2100i,属于NXT:2050i的后继机型,基本数据相同,
但通过与蔡司合作改进了镜头的硬件和软件,从而提高了套刻精度。
虽然消息并不乐观,但是不幸中也有一个好消息,
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