荷兰是全球最大的半导体设备供应国之一,其中ASML是全球唯一能够生产极紫外光刻机(EUV)的公司。EUV是制造7纳米及以下先进晶片的关键设备,被视为半导体产业的“王冠上的明珠”。
由于美国担心中国利用EUV技术发展军事系统或大规模杀伤性武器,因此在2020年就开始施压荷兰政府,禁止ASML向中国出售EUV光刻机。据悉,中芯国际曾订购一台价值1.2亿欧元(约合人民币9.3亿元)的EUV光刻机,但至今仍被搁置在荷兰。
除了EUV之外,荷兰还生产深紫外光刻机(DUV),这是制造14纳米及以上成熟晶片的主流设备。DUV虽然不如EUV先进,但仍然有很大的市场需求,尤其是在中国。据ASML财报显示,2022年,该公司总共出货345台光刻系统,其中浸没式DUV光刻机占比为23%,共计81台。销售市场分布情况为:42%卖给中国台湾,29%卖给韩国,其余14%销往中国大陆。
然而,美国又联合日本和荷兰达成了一项关于“国防安全”的协议,正式宣布将对包括“最先进的”DUV在内的特定半导体制造设备实施更加严苛的出口管制。这表示着,荷兰开始将光刻机出口管制范围从“EUV扩大到DUV”,这将对ASML在中国的收入产生影响。
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